- Ардіс 300 Мікрохвильовий плазмовий реактор ARDIS 300.
- Технічні характеристики:
- Області застосування:
- Ювелірна промисловість
Ардіс 300
Мікрохвильовий плазмовий реактор ARDIS 300.
Мікрохвильовий плазмовий реактор ARDIS 300 призначений для осадження з газової фази полі-, монокристалічних алмазів.
НВЧ-плазмохімічний реактор ARDIS 300 розроблений і вироблений компанією «Оптосістеми» - провідним російським виробником лазерного обладнання для медицини, науки і технологій.
Вирощування алмазів методом осадження з газової фази дозволяє отримати алмази заданих розмірів, особливої чистоти, що володіють унікальним набором електронних, оптичних, теплових, механічних властивостей. Це обумовлює їх затребуваність і величезні перспективи для застосування в таких галузях як електроніка, оптика, СВЧ-техніка, мікромеханіки, обробка матеріалів, електрохімія.
Технічні характеристики:
Потужність СВЧ джерела до 6 кВт, частота 2.45 ГГц Кількість незалежних газових каналів до 5 Робочі гази: Н2, СН4, N2, О2, Ar Робочий тиск в камері (торр) 20-500 Діаметр алмазних пластин (мм) до 100 (4 ") температура підкладки (° С) до 1200
Швидкість осадження алмазу (мкм / год)
до 100 (для монокристалічних алмазів)
до 6 (для полікристалічних алмазів)
Візуальний контроль
5 кварцових 70 мм CF вікон
Камера і подложкодержатель
водоохлаждаемая вакуумна камера з нержавіючої сталі, подложкодержатель з молібдену
Додаткові опції
Z-переміщення, двулучевой пірометр, DC Bias Управління
операційна система Windows, процес синтезу управляється програмою Ardis Control
Габарити (Д х Ш х В, мм)
1660 х 880 х 1840
Області застосування:
Унікальні характеристики і властивості алмазів, отриманих методом осадження з газової фази, визначають високий рівень попиту і їх затребуваність в наступних областях:
Ювелірна промисловість
- Установка дозволяє отримувати алмази ювелірної якості
електроніка
- елементи мікроелектромеханікі
- Радіаційно-стійкі детектори іонізуючого випромінювання
- Польові СВЧ транзистори
- Пристрої поверхневих акустичних хвиль
Оптика
- Вікна для потужних ІК лазерів
- Вікна в оптичних приладах, що працюють в агресивних середовищах
- раманівське лазери
НВЧ-техніка
- Вікна для надпотужних гіротронов і клистронов
- Конструкційні непоглощающіх випромінювання елементи
Медицина, Екологія
- Біосенсори, біосумісні покриття
- Корозійностійкі електроди для очищення води і електроаналіза (легований алмаз)
Ардіс 300 (pdf)